等離子體表面處理儀的特點介紹

等離子體表面處理儀可用于消除固體表面的有機污染物，如：金屬、陶瓷、玻璃、硅片等等，同時也可以對樣品表面進(jìn)行處理，改善樣品表面的特性，如親水/疏水特性，表面自由能，以及表面的吸附/粘附特性等等。  

主要特點：  

（1）采用電容耦合電極設(shè)計（USPatent.4,887,005/5,190,703/5,228963/5,468,560/5,733,511），低失真、高效率的特性，保證了樣品室內(nèi)等離子體分布的均一性；  

（2）采用自動調(diào)頻高頻發(fā)生器，保證了等離子體發(fā)生的穩(wěn)定性和有效性；  

（3）采用高精度的流速控制和壓力控制部件，保證了氣體的高重現(xiàn)性混合和分布；  

（4）采用軟件控制，確保控制的方便有效和實時監(jiān)控；  

（5）一體化的高真空系統(tǒng)，確保了操作的方便性和穩(wěn)定性；  

（6）多種樣品室可供選擇，如耐熱玻璃和石英等，更能滿足廣大客戶的需求多；  

（7）體積小，可遠(yuǎn)程操作，多種安全保護(hù)，保證操作的安全和方便；  

（8）樣品室和功率設(shè)計合理，可滿足絕大部分科研需要；  

（9）全自動操作，方便可靠。